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研究機関北九州産業学術推進機構
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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
リソグラフィ装置群 北九州産業学術推進機構 微細加工 13.電子ビーム描画装置【ELIONIX:ELS-7500】EBレジスト超微細描画加工対象:最大5"φウェハまたは5"□試料描画性能:最小線幅 10nm(50kV)加速電圧:5~50k...