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3件中、1件目~3件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
UVインプリント装置 東北大学 微細加工 東芝機械 ST-50、最大100mm角...
熱インプリント装置 東北大学 微細加工 オリジン電気 Reprina-T50A、最大650℃、30kN...
エキシマ洗浄装置 東北大学 微細加工 デアネヒステ  EXC-1201-DNエキシマ光を用いた有機物除去...