文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます.

研究分野から探す

プラットフォームから探す

研究機関から探す

関連リンク

このサイトについて

検索条件

大分類リソグラフィ・露光・描画装置  → 大分類一覧を表示
中分類レジスト塗布・現像装置  → 中分類一覧を表示
事業
地域
研究機関東北大学
キーワード

検索結果一覧

3件中、1件目~3件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
両面アライナ露光装置群一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機) 東北大学 微細加工 両面アライナ:  ズースマイクロテック MA6/BA6  コンタクト/プロキシミティ露光  片面/両面アライメント  最小パターン:0.8μm ...
スプレー現像装置 東北大学 微細加工 アクテス ADE-3000S、最大6インチ...
コータデベロッパ 東北大学 微細加工 SUSS ACS200 Gen3、基板サイズ 2~8インチ、HMDS処理、コート 3ライン、現像 2ライン、エッジリンス、バックリンス、ホットプレート 4セット、クールプレ...