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3件中、1件目~3件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
スピンコ―タ― 産業技術総合研究所 微細加工 ミカサ製1H-DX2型  6インチまで...
高圧ジェットリフトオフ装置 産業技術総合研究所 微細加工 加温したN-メチル-2-ピロリドン溶液(NMP)による膨潤工程、常温NMPによる高圧ジェット剥離工程、2-プロパノール溶液(IPA)および純水によるリンス...
自動塗布現像装置 産業技術総合研究所 微細加工 ウェハサイズ:2inch、4inch オートローダー仕様プログラム:コーターレシピ28種類 デベロップレシピ46種類レジスト:i線用2系統(住友化学PFI-38...