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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
マスク・ウエーハ自動現像装置群 東京大学 微細加工 型式番号:EVG101(枝番1)、SAMCO FA-1(枝番3)フォトマスク(5009)作製を行うための自動処理装置ですが、EVG101は5”マスクの現像のほか、TMAHを...
枚葉式ZEP520自動現像装置 東京大学 微細加工 アクテス京三 ADE-3000S...