文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます.

研究分野から探す

プラットフォームから探す

研究機関から探す

関連リンク

このサイトについて

検索条件

大分類リソグラフィ・露光・描画装置  → 大分類一覧を表示
中分類レジスト塗布・現像装置  → 中分類一覧を表示
事業
地域九州・沖縄
研究機関
キーワード

検索結果一覧

2件中、1件目~2件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
リソグラフィ装置群 北九州産業学術推進機構 微細加工 15.スピンコーター【ミカサ:MS-A150】フォトレジスト等の回転塗布対応試料:~4”Φバキュームチャック方式100ステップまでのプログラム機能...
リソグラフィ装置群 北九州産業学術推進機構 微細加工 14.コータ/ディベロッパ【リソテック:CB-50】フォトレジスト塗布,現像近接式クーリングプレート×2近接式ホットプレート×2レジストコート...