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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
12連電子銃型蒸着装置 物質・材料研究機構 微細加工  (アールデック社製:RDEB-1206K)12連式ハースライナー搭載到達真空度:1e-5Pa以下最大試料寸法:φ6インチ...
高圧ジェットリフトオフ装置 物質・材料研究機構 微細加工 メーカー名:カナメックス型番:KLO-150CBU用途:リフトオフ、レジスト剥離  装置仕様レジスト膨潤:80℃ NMP溶液レジスト剥離:高圧ジェットNMP溶...