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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
4インチ高真空EB蒸着装置 東京大学 微細加工 型式番号:NSPII東大拠点で独自設計・自作した蒸着装置で、いわゆる抵抗加熱蒸着と電子線(EB)加熱蒸着との両方がが可能です。主な材料はAu, C...
超高真空蒸着装置(ベルジャー) 東京大学 微細加工 抵抗加熱のみ。φ4inchまで可能...