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大分類成膜・膜堆積  → 大分類一覧を表示
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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
高真空蒸着装置 東京工業大学 微細加工 エイコーエンジニアリング製  ロードロックチャンバ付  6連E-gun6kW 3連EBガン×2到達真空度: 5e-8Torr以下基板サイズ: 最大20...
高真空蒸着装置 東京工業大学 微細加工 エイコーエンジニアリング製  ロードロックチャンバ付  6連E-gun 6kW 3連EBガン×2 到達真空度: 5e-8Torr以下 基板サイズ: ...