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大分類成膜・膜堆積  → 大分類一覧を表示
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3件中、1件目~3件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
スパッタ装置 東北大学 微細加工 芝浦メカトロニクス CFS-4ESII 基板冷却型(20℃水冷)と基板加熱型(最高300℃)1台ずつ 基板冷却型はリフトオフ目的でのレジストパターンの...
アネルバ スパッタ装置 東北大学 微細加工 アネルバ SPF-730、4インチ×9枚、8インチターゲット×3...
自動搬送芝浦スパッタ装置 東北大学 微細加工 芝浦メカトロニクス i-Miller  CFS-4EP-LL、3インチターゲット×4、ロードロック付、自動搬送付...