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大分類成膜・膜堆積  → 大分類一覧を表示
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6件中、1件目~6件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
スパッタ装置 東北大学 微細加工 芝浦メカトロニクス CFS-4ESII 基板冷却型(20℃水冷)と基板加熱型(最高300℃)1台ずつ 基板冷却型はリフトオフ目的でのレジストパターンの...
アネルバ スパッタ装置 東北大学 微細加工 アネルバ SPF-730、4インチ×9枚、8インチターゲット×3...
自動搬送芝浦スパッタ装置 東北大学 微細加工 芝浦メカトロニクス i-Miller  CFS-4EP-LL、3インチターゲット×4、ロードロック付、自動搬送付...
球面スパッタ装置 東北大学 微細加工 球面体(直径1.0mm、3.3mm)へのスパッタリング、膜種:Au、Cr、Al、Pd、SiO2他、O2プラズマクリーニング可...
酸素加圧RTA付高温スパッタ装置 東北大学 微細加工 ユーテック 21-0604、金属用(DC)スパッタチャンバ、酸化物用(RF)スパッタチャンバ、酸素加圧アニールチャンバの3つのチャンバで構成。最高基板温...
ECRロングスロースパッタ 東北大学 微細加工 エリオニクス EIS-200ERP-NPD-TK、基板サイズ 小片~6インチ、ターゲット数 2、ターゲット‐ステージ間距離 150mm、コリメータ付、エッチング可...