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大分類成膜・膜堆積  → 大分類一覧を表示
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研究機関物質・材料研究機構
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5件中、1件目~5件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
全自動スパッタ装置 物質・材料研究機構 微細加工 (アルバック社製:Jsputter)サイドスパッタ方式RF/DC共用4元カソード最大試料寸法:φ6インチ...
超高真空スパッタ装置 物質・材料研究機構 微細加工 (ビームトロン社製)TS直上スパッタ方式RF/DC共用4元カソード最大試料寸法:φ3インチ...
多元スパッタ装置 (i-miller) 物質・材料研究機構 微細加工 メーカー名:芝浦メカトロニクス型番:CFS-4EP-LL (i-miller)用途:金属・絶縁薄膜形成  装置仕様スパッタ方式:DC/RFマグネトロンスパッタ,反応性/2...
イオンスパッタ 物質・材料研究機構 微細加工 メーカー名:日立ハイテク型番:E-1045用途:SEM,FIB-SEMの前処理  装置仕様成膜材料:プラチナ/カーボンプラチナ成膜方式:ダイオード放電マグ...
薄膜応力測定装置 物質・材料研究機構 微細加工 メーカー名:東朋テクノロジー型番:FLX-2000-A用途:薄膜応力測定  装置仕様測定方式:レーザースキャン方式(670nm&750nm半導体レーザー)測定範...