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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
薄膜形成支援装置群 千歳科学技術大学 分子・物質合成 1. 真空蒸着器  ALS社製 E-100  蒸発源: 8源 (同時蒸着2源) 2. 真空蒸着器  アルバック社製 VPC-260  蒸発源: 2源  到達圧力&nbs...