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ICP-RFスパッタ装置 大阪大学 分子・物質合成 株式会社アルバックMB02-5002 【特徴】誘導結合型RFプラズマ支援ヘリコン型スパッタ装置です。隔膜式真空計を備えており、プロセスガス圧の高度な...
RFスパッタ装置 大阪大学 分子・物質合成 サンユー電子株式会社SVC-700LRF 【特徴】デポダウン方式のRFマグネトロンスパッタ装置です。ターゲット交換が容易で、金属、酸化物、窒化物など様...