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ナノテクジャパンは、文部科学省「ナノテクノロジープラットフォーム」の一環として、全国の産学官の利用者に対して、
最先端研究施設及び研究支援能力を分野横断的にかつ最適な組合せで提供できる共用システムを構築し、研究課題解決への貢献を目指して活動しております。
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文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ！ 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます．
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検索結果一覧
4件中、1件目～4件目を表示しています。
| 写真 | 設備名称 | 設置機関 | 研究分野 | 仕様 |
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プラズマCVD 装置 | 東京工業大学 | 微細加工 | シリコン酸化膜 サムコPD-240 1 反応器： SUS304製 内径 340ｍｍ 基板加熱機構：抵抗加熱方式 MAX 400℃ ... |
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有機金属気相成長装置 | 東京工業大学 | 微細加工 | 日本酸素製 HR-3246 InP用 ウェハトレイ:石英製2インチウェハトレイ III族材料:TEG,TMG,TMA,TMI,CBr4 V族材料:AsH3（100%）,AsH3（1%）,PH3（100%）,Si2H... |
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プラズマCVD装置 | 東京工業大学 | 微細加工 | シリコン窒化膜／アモルファスシリコンの成膜 住友精密工業 Multiplex-CVD ... |
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プラズマCVD 装置 | 東京工業大学 | 微細加工 | シリコン酸化膜 サムコPD-100ST... |
