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大分類成膜・膜堆積  → 大分類一覧を表示
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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
パルスレーザーMBE装置(PLD) 大阪大学 分子・物質合成 誠南工業株式会社PLO-020R 【概要】成膜する原料となるターゲットにレーザー光を照射し、高温となったターゲットから原子や分子を蒸発させ、試料...