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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
メッキ装置 産業技術総合研究所 微細加工 株式会社山本鍍金試験器製2inch、4inchシリコンウエハ対応の小型めっき装置です。濾過や加熱、エアー撹拌を行いながらのめっきが可能です。微細配...
めっき装置 東北大学 微細加工 山本鍍金試験器、Cu、Si、Ni、Au、最大6インチ...
金メッキ装置 東京大学 微細加工 山本鍍金試験器製。欠片~4”までの金電解メッキ   ...
銅メッキ装置 東京大学 微細加工 山本鍍金試験器製。欠片~4”までの金電解メッキ...
超臨界銅成膜装置 東京大学 微細加工 自作2㎝角まで。東京大学霜垣・百瀬研究室との協力による。...
ニッケルめっき装置 東京大学 微細加工 山本鍍金試験器製。欠片~4”までのニッケル電解メッキ...
精密めっき装置×3台 早稲田大学 微細加工 (特注品)    各種無電解、電解めっきに対応    Auめっき、合金めっきに対応    基板サイズ4インチまで...