文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます.

研究分野から探す

プラットフォームから探す

研究機関から探す

関連リンク

このサイトについて

検索条件

大分類膜加工・エッチング  → 大分類一覧を表示
中分類アッシング・キュア  → 中分類一覧を表示
事業
地域
研究機関東北大学
キーワード

検索結果一覧

5件中、1件目~5件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
アッシング装置 東北大学 微細加工 ブランソン IPC4000 酸素プラズマによるレジスト除去 バレル式 4インチ×25枚/バッチ 6インチ×4枚/バッチ ...
UVキュア装置 東北大学 微細加工 ウシオ電機 UMA-802  エッチング前のレジスト硬化、4インチ...
アルバック アッシング装置 東北大学 微細加工 アルバック UNA-2000、2.45GHz、最大6インチ...
エキシマ洗浄装置 東北大学 微細加工 デアネヒステ  EXC-1201-DNエキシマ光を用いた有機物除去...
プラズマクリーナー 東北大学 微細加工 ヤマト科学 PDC210、プラズマ(酸素、アルゴン)による基板クリーニング、レジストのアッシング、最大6インチ...