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ナノテクジャパンは、文部科学省「ナノテクノロジープラットフォーム」の一環として、全国の産学官の利用者に対して、
最先端研究施設及び研究支援能力を分野横断的にかつ最適な組合せで提供できる共用システムを構築し、研究課題解決への貢献を目指して活動しております。
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文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ！ 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます．
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1件中、1件目～1件目を表示しています。
| 写真 | 設備名称 | 設置機関 | 研究分野 | 仕様 |
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エッチング装置(レジスト Ashing用) | 広島大学 | 微細加工 | 神戸製鋼社製O2, N2使用可能 対応wafer：２inch、cut wafer... |
