文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます.

研究分野から探す

プラットフォームから探す

研究機関から探す

関連リンク

このサイトについて

検索条件

大分類膜加工・エッチング  → 大分類一覧を表示
中分類アッシング・キュア  → 中分類一覧を表示
事業
地域
研究機関広島大学
キーワード

検索結果一覧

1件中、1件目~1件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
エッチング装置(レジスト Ashing用) 広島大学 微細加工 神戸製鋼社製O2, N2使用可能 対応wafer:2inch、cut wafer...