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大分類膜加工・エッチング  → 大分類一覧を表示
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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
集束イオンビーム加工観察装置(FIB) 産業技術総合研究所 微細加工 日立ハイテクノロジーズ社製FB-2100 (大電流及び低加速電圧対応)型ガリウムイオンビームを集束/走査することで、SIM(Scanning Ion Microscopy...
イオンコーター(FIB付帯) 産業技術総合研究所 微細加工 日立ハイテクノロジーズ社製 集束イオンビーム加工観察において、熱伝導性のない試料の昇華や融解による形状変形 及び熱改質の防止、試料の表...