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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
デュアルイオンビ-ムスパッタ装置 香川大学 微細加工 ハシノッテク社製デュアルイオンビ-ムスパッタ装置 10W-IBS 熱陰極型イオン源:2基(50~1000eV) 基板加熱温度:最大700゜C 【ビームガン1:エッチ...