文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます.

研究分野から探す

プラットフォームから探す

研究機関から探す

関連リンク

このサイトについて

検索条件

大分類膜加工・エッチング  → 大分類一覧を表示
中分類ドライエッチング(RIE)  → 中分類一覧を表示
事業
地域
研究機関東北大学
キーワード

検索結果一覧

10件中、1件目~10件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
DeepRIE装置#1 東北大学 微細加工 住友精密 MUC-21 ASE-SRE、Si深堀エッチング、最大6インチ...
DeepRIE装置#2 東北大学 微細加工 住友精密 MUC-21 ASE-SRE、Si深堀エッチング、最大6インチ...
DeepRIE装置#3 東北大学 微細加工 SPTS Multiplex-ICP SR、Si深堀エッチング、SiO2・SiNエッチング可、最大6インチ...
DeepRIE装置#4 東北大学 微細加工 住友精密 MUC-21 ASE-HRNX、Si深堀エッチング、静電チャック、最大8インチ...
アネルバ RIE装置 東北大学 微細加工 アネルバ DEA-506 SiO2、SiNエッチング用 ガス:CF4、CHF3、O2 4インチ×12枚/バッチ 6インチ×5枚/バッチ ...
アネルバ Si RIE装置 東北大学 微細加工 アネルバ L-507DL Siエッチング用 ガス:SF6、O2 4インチ対応カセットtoカセット  ...
Al-RIE装置 東北大学 微細加工 芝浦エレテック HIRRIE-100 Al、Siエッチング用 ガス:Cl2、BCl3、O2 4インチ対応カセットtoカセット 最大6インチ(メインチャンバを開けて導入) ...
アルバック 多用途RIE装置 東北大学 微細加工 アルバック RIH-1515Z 金属や圧電体を含む多目的エッチング用 ガス:Cl2、BCl3、SF6、CF4、CHF3、Ar、O2、N2 最大6インチ×1枚/バッチ ...
アルバックICP-RIE 東北大学 微細加工 アルバック NE-550、高密度プラズマおよび高出力バイアスRFにより、厚膜SiO2などの加工が可能、最大6インチ...
アルバックICP-RIE#2 東北大学 微細加工 アルバックCE-300I、高密度プラズマにより厚膜SiO2、サファイアなどの加工が可能、最大6インチ...