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大分類膜加工・エッチング  → 大分類一覧を表示
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研究機関物質・材料研究機構
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5件中、1件目~5件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
多目的ドライエッチング装置 物質・材料研究機構 微細加工 (サムコ社製:RIE-200NL)平行平板型プラズマ励起プロセスガス:CF4,CHF3,SF6,O2,Ar最大試料寸法:φ8インチ...
化合物ドライエッチング装置 物質・材料研究機構 微細加工 (サムコ社製:RIE-101iPH)誘導結合型プラズマ励起プロセスガス:Cl2,BCl3,N2,O2,Ar最大試料寸法:φ3インチ...
シリコン深堀エッチング装置 物質・材料研究機構 微細加工 (住友精密工業社製:ASE-SRE)ボッシュプロセス方式プロセスガス:SF6,C4F8,O2,Ar最大試料寸法:φ3インチ...
酸化膜ドライエッチング装置 物質・材料研究機構 微細加工 (住友精密工業社製:APS)誘導結合型プラズマ励起プロセスガス:CHF3,C2F6,C4F8,SF6,He,O2,Ar最大試料寸法:φ6インチ...
ICP原子層エッチング装置 物質・材料研究機構 微細加工 メーカー:Oxford Instruments型番:PlasmaPro 100 Cobra 300 ALE プラズマ励起方式:誘導結合型電源出力:ICP出力 最大3kW/バイアス出力 最大300Wプロセスガス:...