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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
リアクテブイオンエッチング装置 東京工業大学 微細加工 サムコ製 RIE-10NR 各種シリコン薄膜(Si, SiO2, poly-Si, Si3N4等)の高精度エッチング装置 グラフィックタッチパネルによる全自動運転 ...
リアクテブイオンエッチング装置 東京工業大学 微細加工 サムコ製 RIE-10NR 各種シリコン薄膜(Si, SiO2, poly-Si, Si3N4等)の高精度エッチング装置 グラフィックタッチパネルによる全自動運転 ...
リアクテブイオンエッチング装置 東京工業大学 微細加工 サムコ製 RIE-10NR 各種シリコン薄膜(Si, SiO2, poly-Si, Si3N4等)の高精度エッチング装置 グラフィックタッチパネルによる全自動運転 最大...
リアクテブイオンエッチング装置 東京工業大学 微細加工 サムコ製ICP-RIE 装置 (ICP-101RF) 使用ガス:CF4, SF6, CH4, H2, O2 4-inchウエハまで対応 ...