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大分類膜加工・エッチング  → 大分類一覧を表示
中分類ウエット/ガスエッチング,洗浄  → 中分類一覧を表示
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4件中、1件目~4件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
エッチングチャンバー群一式 東北大学 微細加工 ウェハ洗浄 ウェットエッチング 薬品:H2SO4、H2O2、HCl、HNO3、CH3COOH、HF、NH4F  等 超純水供給 最大6インチ ...
Si結晶異方性エッチング装置(KOH) 東北大学 微細加工 SiO2やSiNをマスクとしたSi結晶異方性エッチングP++層エッチストップによるメンブレン作製4インチウェハ×10枚/バッチ6インチウェハ×10枚...
Si結晶異方性エッチング装置(TMAH) 東北大学 微細加工 SiO2やSiNをマスクとしたSi結晶異方性エッチングP++層エッチストップによるメンブレン作製4インチウェハ×10枚/バッチ6インチウェハ×10枚...
Vapor HFエッチング装置 東北大学 微細加工 Primaxx uEtch Module TO-α、気相のフッ酸を用いて、SiO2膜をエッチングする装置。例えばSOIウェハの埋め込み酸化膜のエッチングが可能で、壊れやすい...