文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます.

研究分野から探す

プラットフォームから探す

研究機関から探す

関連リンク

このサイトについて

検索条件

大分類膜加工・エッチング  → 大分類一覧を表示
中分類ウエット/ガスエッチング,洗浄  → 中分類一覧を表示
事業
地域
研究機関物質・材料研究機構
キーワード

検索結果一覧

1件中、1件目~1件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
高圧ジェットリフトオフ装置 物質・材料研究機構 微細加工 メーカー名:カナメックス型番:KLO-150CBU用途:リフトオフ、レジスト剥離  装置仕様レジスト膨潤:80℃ NMP溶液レジスト剥離:高圧ジェットNMP溶...