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大分類膜加工・エッチング  → 大分類一覧を表示
中分類ウエット/ガスエッチング,洗浄  → 中分類一覧を表示
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研究機関東京工業大学
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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
ウェハ洗浄装置 東京工業大学 微細加工 EVG EVG301 PVA製スポンジブラシ洗浄   メガソニック洗浄(最大振動子出力:40 W)  対応基板サイズ:2インチウェハ/2 cm×2 ...