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大分類合成、熱処理、ドーピング  → 大分類一覧を表示
中分類酸化、拡散、イオン注入  → 中分類一覧を表示
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4件中、1件目~4件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
酸化拡散炉 東北大学 微細加工 東京エレクトロン XL-7 MEMS用/半導体用  計7チューブ ウェット酸化 ドライ酸化 P拡散 B拡散 アニール 最大6インチ×40枚/バッチ ...
拡がり抵抗測定装置 東北大学 微細加工 Solid State Measurements SSM150 不純物濃度プロファイルの測定 ウェハを小片にして端面を斜め研磨した後に測定 ...
中電流イオン注入装置 東北大学 微細加工 日新イオン機器 NH-20SR 最大加速電圧:180keV 最大電流:0.6mA 常時注入可能元素:P、B 4インチ対応カセットtoカセット ...
メタル拡散炉 東北大学 微細加工 光洋リンドバーグ Model270メタルや圧電基板等の多用途拡散、最大4インチ...