文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます.

研究分野から探す

プラットフォームから探す

研究機関から探す

関連リンク

このサイトについて

検索条件

大分類合成、熱処理、ドーピング  → 大分類一覧を表示
中分類酸化、拡散、イオン注入  → 中分類一覧を表示
事業
地域九州・沖縄
研究機関
キーワード

検索結果一覧

3件中、1件目~3件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
ケミカルプロセス装置群 北九州産業学術推進機構 微細加工 1.イオン注入装置【ULVAC:IMX-3500】B(ボロン),P(リン),Ar(アルゴン)のイオン注入加速電圧:30~200kVドーズ量:1E12~1E16/cm2対応試料:~4”&Ph...
ケミカルプロセス装置群 北九州産業学術推進機構 微細加工 2.酸化炉【リネア:LD-410V】ドライ酸化,アンモニア酸化によるSi基板の熱酸化昇温可能範囲:~1100℃対応試料:2”Φ×104”Φ×10...
ケミカルプロセス装置群 北九州産業学術推進機構 微細加工 3.拡散炉【リネア:LD-410V】アニール,シンタリング等熱処理昇温可能範囲:~1100℃対応試料:2”Φ×104”Φ×10...