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研究機関物質・材料研究機構
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2件中、1件目~2件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
ウエハRTA装置 物質・材料研究機構 微細加工 (Allwin21社製AccuThermo AW610) 赤外線ランプ加熱方式 最高到達温度:800度 加熱雰囲気:Ar, N2, O2, Ar+H2 最大試料寸法:φ6インチ  ...
赤外線ランプ加熱装置 物質・材料研究機構 微細加工 メーカー名:アドバンス理工 型番:RTP-6 用途:多目的熱処理プロセス装置 仕様加熱方式:赤外線ランプによる上部片面加熱 加熱温度:1200℃以下...