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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
ケミカルプロセス装置群 北九州産業学術推進機構 微細加工 9.高速熱処理装置【Allwin 21:AccuThermo AW610】イオン注入後の活性化処理、Poly-Siのアニール、各種熱処理等温度制御範囲:100~1100℃昇温速度:10~150℃/...