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2件中、1件目~2件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
UVオゾンクリーナー 東京大学 微細加工 SAMCO UV-1 レジスト等のアッシング処理が可能...
アクアプラズマ表面改質装置 東京大学 微細加工 SAMCO AQ-50 特にポリマーの接合前の表面処理、超臨界流体製膜前処理、新水化処理が可能。...