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5件中、1件目~5件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
ウェハ接合装置 東北大学 微細加工 ズースマイクロテック SB6e 陽極接合 金属接合 ポリマー接合 雰囲気:N2(2気圧まで加圧可能)、真空中 最大6インチ×1枚/バッチ ...
EVG ウェハ接合装置 東北大学 微細加工 EVG 520、熱圧着、8インチ...
EVG ウェハ接合用アライナ 東北大学 微細加工 EVG Smart View Aligner、8インチ...
超音波顕微鏡 東北大学 微細加工 インサイト IS-350、接合界面の観察、最大12インチ...
サーフェースプレーナー 東北大学 微細加工 ディスコ DAS8920 バンプ平坦化...