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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
基板貼付け装置 東京工業大学 微細加工 アユミ工業 VE-07-18 対応基板サイズ:2インチウェハ,2 cm×2 cm角,3 cm×3 cm角 プラズマ反応ガス:Ar, N2, O2  最大プラ...