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ステルスダイサー 東京大学 微細加工 型式番号:DFL7340(ステルスダイサー・Si用)。当拠点のステルスダイサーはシリコン専用ですが、日本発の新技術「ステルスダイシング技術」を利...
ブレードダイサー 東京大学 微細加工 二軸スピンドルダイサー この「二軸機」によれば、四角く切り出したチップ端部を斜めに切りおとすこと(ベベルカット)が可能になり、塗布したレ...