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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
走査電子顕微鏡 物質・材料研究機構 微細加工 (日立ハイテク社製:S-4800)加速電圧:0.1~30kVリターディング機能搭載最大試料寸法:φ6インチ...
イオンスパッタ 物質・材料研究機構 微細加工 メーカー名:日立ハイテク型番:E-1045用途:SEM,FIB-SEMの前処理  装置仕様成膜材料:プラチナ/カーボンプラチナ成膜方式:ダイオード放電マグ...