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大分類形状・形態観察、分析  → 大分類一覧を表示
中分類走査電子顕微鏡(SEM)  → 中分類一覧を表示
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4件中、1件目~4件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
集束イオン/電子ビーム加工観察装置 (極表面微量元素分析機能つき) 早稲田大学 微細加工  日立ハイテク社製NB-5000     FIB加工中の同時SEM観察可能     ~80万倍, 試料サイズ最大30mmΦエネルギー分...
FE-SEM 早稲田大学 微細加工 日立ハイテク社製S-4800試料サイズ最大20mm角セミインレンズ方式による高分解能(~x600k)EDAXによる元素分析...
簡易SEM 早稲田大学 微細加工 キーエンス社製VE-7800試料サイズ最大20mm角位操作が簡便~x10k...
インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡 早稲田大学 微細加工 日立ハイテク製SU8240二次電子分解能0.8nm (加速電圧15kV、WD=4mm、倍率270kx)1.1nm (照射電圧1kV、WD=1.5mm、倍率200kx)照射電圧 0.01~30kV倍率...