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大分類形状・形態観察、分析  → 大分類一覧を表示
中分類走査電子顕微鏡(SEM)  → 中分類一覧を表示
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3件中、1件目~3件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
走査型電子顕微鏡 東京工業大学 微細加工 日立S5200   高解像度用インレンズ式  加速電圧1kV~30kV  分解能0.5nm(30kV)~1.7nm(1kV)  倍率X100~X2000K  STEM...
走査型電子顕微鏡 東京工業大学 微細加工 日立S-4500 電界放出型 冷陰極電界放出型電子銃 分解能: 1.5 nm (加速電圧 15 kV WD=4mm) 4.0 nm (加速電圧 1 kV...
低真空 SEM 東京工業大学 微細加工 キーエンス VHX-D510レンズ:  電子式超深度レンズ+光学倍率:  30~5000倍(垂直)、30~2000倍(傾斜)、      ...