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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
走査型電子顕微鏡 名古屋大学 微細加工 日立ハイテクフィールディング社製S5200 加速電圧:0.5kV~30kV 分解能:0.5nm(30kV) 倍率:~2,000,000 最大試料サイズ:5mmX9.5mm ...
走査型電子顕微鏡 名古屋大学 微細加工 日立ハイテクフィールディング社製S4300 加速電圧:0.5kV~15kV 分解能:15nm(30kV) 倍率:~500,000 最大試料サイズ:直径100mm  ...