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大分類形状・形態観察、分析  → 大分類一覧を表示
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研究機関豊田工業大学
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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
走査型電子顕微鏡 豊田工業大学 微細加工 日本電子, JSM-6510電子線誘起電流(EBIC)計測付属、・分解能 4.0nm、加速電圧0.5~30kV・試料:最大φ4インチ...