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2件中、1件目~2件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
原子間力顕微鏡 名古屋大学 微細加工 Bruker社製 AXS  Dimension3100 スキャン領域:XY方向  約90μm,Z方向  約6μm 試料サイズ:最大150 mmφ-12 mmt 測定モ...
in-situプラズマ照射表面分析装置 名古屋大学 微細加工 プラズマ照射した表面を大気暴露すること無く、in-situでX線光電子分光法(XPS)、フーリエ変換赤外分光光度計(FT-IR)、走査型トンネル顕微鏡(STM...