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中分類膜厚・段差・粗さ測定  → 中分類一覧を表示
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2件中、1件目~2件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
触針式表面段差計 物質・材料研究機構 微細加工 メーカー名:KLA Tencor型番:Alpha Step IQ用途:接触式段差測定  装置仕様分解能:1.19pm (±10umレンジ)/23.8pm (400umレンジ)走査距離:10mm膜厚...
薄膜応力測定装置 物質・材料研究機構 微細加工 メーカー名:東朋テクノロジー型番:FLX-2000-A用途:薄膜応力測定  装置仕様測定方式:レーザースキャン方式(670nm&750nm半導体レーザー)測定範...