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大分類形状・形態観察、分析  → 大分類一覧を表示
中分類膜厚・段差・粗さ測定  → 中分類一覧を表示
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5件中、1件目~5件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
X線回折装置(XRD) 産業技術総合研究所 微細加工 リガク製  Ultima_III    試料水平型  インプレーン測定機構付  傾斜多層膜放物面モノクロメータ付  チャンネル...
微小部蛍光X線分析装置(XRF) 産業技術総合研究所 微細加工 SEA_5210A微小領域エネルギ分散型上面照射方式  分析元素:Na~U  試料形態:固形、薄膜(液及び粉は要許可)  サイズ:最大 ...
分光エリプソメータ 産業技術総合研究所 微細加工 この分光エリプソメーター装置は、190~826nm(1.5~6.5eV)の波長範囲における入射光と反射光の偏光状態の変化を測定し、解析作業を行うことで、薄...
触針式段差計 産業技術総合研究所 微細加工 Alpha-Step IQ型□150㎜以内の各種試料先端がダイヤモンドのスタイラス(触針)を用いて、測定物表面を一定の低針圧でなぞり、段差、表面粗さ、...
単波長エリプソメータ 産業技術総合研究所 微細加工 主に薄膜の膜厚や光学定数の測定に利用する装置です。サンプル表面に光を入射させ、その反射光の偏光状態を計測することにより膜厚や光学定数...