文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます.

研究分野から探す

プラットフォームから探す

研究機関から探す

関連リンク

このサイトについて

検索条件

大分類形状・形態観察、分析  → 大分類一覧を表示
中分類膜厚・段差・粗さ測定  → 中分類一覧を表示
事業
地域
研究機関広島大学
キーワード

検索結果一覧

3件中、1件目~3件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
干渉式膜厚計 広島大学 微細加工 ナノメトリクスジャパン社製可視光及び紫外光光源、多層膜対応解析ソフト搭載 クリーンルーム内に設置...
分光エリプソメーター 広島大学 微細加工 J.A. Woollam, Japan社製  M2000-D測定可能最小膜厚10nm,分光波長範囲193〜1000nm...
表面段差計 広島大学 微細加工 デクタック社製 Dektak3ST垂直範囲:10nm~130μm  垂直解像度:最高0.1nm...