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位相変調型分光エリプソメーター 大阪大学 分子・物質合成 株式会社堀場製作所UVISEL LT NIR-NNG 【特徴】紫外~近赤外域まで測定可能な高精度分光エリプソメーターです。高周波(50kHz)にて偏光変化を...
接触式膜厚測定器 大阪大学 分子・物質合成 BRUKERDektak XT-A 【特徴】10nm以下の段差を測定できる触針式の膜厚測定器です。3D機能を備えたプロファイリングシステムを搭載しており、3Dマッピ...