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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
室温プローバーシステム 物質・材料研究機構 微細加工 (ベクターセミコン社製:MX-200アジレント社製:B1500A搭載)I-V測定/C-V測定最大試料寸法:φ4インチ...
液体窒素プローバーシステム 物質・材料研究機構 微細加工 メーカー名:サーマルブロック,ケースレーインスツルメンツ型番:SB-LN2PS,4200-SCS用途:77K台から500KまでのI-V特性評価  装置仕様試料冷却方式:...