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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
デバイスパラメータ評価装置 産業技術総合研究所 微細加工 アジレントテクノロジー社製4156C型測定分解能: 1fA(±10pAレンジ)φ150×10mm以下の各種試料プローバーシステムと半導体パラメータアナ...
ナノプローバー〔N-6000SS〕 産業技術総合研究所 微細加工 日立ハイテクノロジー社製N6000型・プローブユニットユニット数:6本(探針数)微動範囲:5um(X,Y軸)粗動範囲:5mm(X,Y軸)駆動方式:ピエゾ素子使用・...
磁気特性測定システム(MPMS) 産業技術総合研究所 微細加工 カンタムデザイン社製SQUID(超伝導量子干渉素子)を利用した高感度磁気特性評価装置です。DC磁化測定、AC磁化測定、振動式高感度磁化(RSO)測定...
デバイス容量評価装置 産業技術総合研究所 微細加工 ケースレー社製Model 82-WIN、及び アジレントテクノロジーズ社製4284A LCRメータプローバーシステムとC-VメータやLCRメータから構成されてお...
四探針プローブ抵抗測定装置 産業技術総合研究所 微細加工 4探針プローブ (プローブは試料に応じて交換して使用する)型式 K-89PS40μR, K-89PS150μR材質 タングステンカーバイト針間 1mm針先R 40μmR, 150μmR針圧 ...
物理特性測定装置(PPMS) 産業技術総合研究所 微細加工 高感度物理特性評価装置。直流抵抗測定(DC)、Hall抵抗測定等が可能です。ヘリウム再凝縮装置が付設されているため、液体ヘリウムの充填が不要です...