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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
形状・膜厚・電気特性評価装置群 東京大学 微細加工 枝番1:Keyence顕微鏡,   型式VHX-6000顕微鏡観察を行う装置です。枝番2:DektakXT-S,触針段差計です。枝番3:NanoSpec,SiO2やレジスト、SiN膜の膜厚...
半導体パラメータアナライザー 東京大学 微細加工 B1500A...
12インチプローバー  東京大学 微細加工 Cascade Elite300 シールドチャンバー付き...
Elite300 附属電気特性測定装置  東京大学 微細加工 B1500A,DS090804A,N6705B,81160A,3498-A,DSO-Xを含むラック...