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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
薄膜応力測定装置 物質・材料研究機構 微細加工 メーカー名:東朋テクノロジー型番:FLX-2000-A用途:薄膜応力測定  装置仕様測定方式:レーザースキャン方式(670nm&750nm半導体レーザー)測定範...