文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます.

研究分野から探す

プラットフォームから探す

研究機関から探す

関連リンク

このサイトについて

検索条件

大分類質量分析  → 大分類一覧を表示
中分類SIMS  → 中分類一覧を表示
事業
地域
研究機関
キーワード

検索結果一覧

4件中、1件目~4件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
超微量元素計測システム(SIMS)NanoSIMS 50L(AMETEK) 東京大学 微細構造解析 □ 主な特長 高感度な元素マッピング・同位体比測定が可能 高質量分解能 高空間分解能:<50nm 最大7種類の二次イオン像の同時検出が可能 ...
二次イオン質量分析装置(D-SIMS) 産業技術総合研究所 微細加工 アルバックファイ社製ADEPT-1010型試料にイオンを照射し、試料表面からスパッタリング放出される二次イオンを質量分析することによって深さ方向の...
ECR-SIMSエッチング装置 名古屋大学 微細加工 ECRイオンガン:入江工研社製 RGB-114  マイクロ波入力150 W,加速電圧600 V,イオン照射径30mmSIMS検出器:PFEIFFER社製 EDP400分析質量1...
動的二次イオン質量分析測定装置 九州大学 分子・物質合成 Analysetechnik GmbH社製ATOMIKA SIMS 4000四重極型一次イオンビームソース:酸素とアルゴン加速電圧:3 k - 15 kV測定面積:250 μ...