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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
ECR-SIMSエッチング装置 名古屋大学 微細加工 ECRイオンガン:入江工研社製 RGB-114  マイクロ波入力150 W,加速電圧600 V,イオン照射径30mmSIMS検出器:PFEIFFER社製 EDP400分析質量1...